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业务流程

一、流程图例

 

 

二、洁净室综合性能一般检测方法简述

检测项目   

仪器示例

采样规则

备注

常规检测:在没有特殊原因时应按下列项目次序逐项测定:

风速;风量(换气次数);静压差;(检漏);洁净度级别;温度;相对湿度;照度;噪音;细菌浓度(沉降菌或浮游菌)。

换气次数

Alnor EBT 721  

风量检测前必须检查风机运行是否正常,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上。

按照风量罩操作规程使用仪器,并记录检测数据和房间的面积、高度。

如因障碍等原因,某个风口不便检测,可以舍弃,而以同房间其他风口的平均数据或属于相邻或相同支管上的相邻房间的风口的平均数据作为该风口的测值,并在记录上注明。

应首先进行。

静压差

Dwyer SERIES 475 MARK III

应把洁净室区的所有门关闭,最好有人守护。

应从平面上最里面级别最高的房间依次向外测定,凡是可相通的两间邻室都要测,一直测到可与室外相通的房间。

应有一人在待测房间手持深入该房间的胶管,试管口处约0.8米高度,管口端面垂直于地面,避开气流方向和涡流区。

对于洁净度高于100级的单向流洁净室,应测定门在开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的微粒数。

如发现测出的压差未达到要求,可调节风口或阀门开度重测,同时通知被检方。

应在所有的门关闭时进行。

温度及相对湿度

Testo 625

 

净化空调系统应已连续运行24小时以上。有恒温要求的场合,根据对温湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8~48小时,由现场检验人员与被检测单位协商决定。

无恒温要求的房间,只设定中心一个测点;有恒温要求的房间,测点按照所选用标准设在恒温工作区内有代表性的地点,以及敏感元件处。

所有测点除工艺有要求的,宜在同一高度,离地面0.8米,距外墙内表面应大于0.5米、小于1米,或按照所选用标准布点检测。

净化空调系统应已连续运行至少24h。

噪声   

 

Testo 815

须测净化空调系统全部运行工况和全部停机的背景工况,有要求时,在区分局部净化设备开与不开的工况。

测量时房间的门应该关上,禁止洁净区内人员干活和说话,保持安静。

不足15㎡的房间,在室中心一点测量,高度为1.1m。超过15㎡的房间应测5点,除中心一点外,四角各一点,测点朝向角落。

仪器测量时应伸直手臂,平端离开身体。

 

照度    

Testo 545

照度测定必须在室温已趋稳定、光源输出趋于稳定(新安装的日光灯必须已有100小时,白炽灯已有10小时的使用期;旧日光灯必须已点亮15min,旧白炽灯已点亮5min)后进行。

测量时应关闭局部照明。

测点平均离地面0.8m,按照1~2m间距布置,测点距墙面1m。或按照所选用标准布点检测。(注意避开屋内设施)

严禁只在灯下测定。 

不得在灯下测试。

悬浮粒子(洁净度)

PMS LASAIR II 310A

检测人员在室内位于仪器下风向最好是回风口处,注意不要随意动作说话。

对粒子计数器进入洁净区时应先擦拭清洁。

根据所测对象面积和设计洁净度级别,按照所选用标准确定最少测点数。

按照洁净度测试规程检测布点检测。

竖直采样管长度没有特殊限制,水平采样管长度不宜大于0.5米。

每次读数要求在计数达到基本稳定之后进行,记录连续三次比较稳定接近的数值。

如果各测点数值达标但相差太大,检验人员可据判断增补测点数。   

 

沉降菌(细菌浓度)

TSA

按照所选用标准检测浮游菌或者沉降菌。

细菌浓度宜在其他项目检测之后,对全室表面进行常规消毒之后进行。

检测人员应穿洁净服,配带口罩和手套。

按照沉降菌检测规程和浮游菌检测规程检测,沉降时间可适当延长,则最少培养皿数可以适当减少,但是不得少于悬浮粒子最少测点数。

注意:不论使用任何方法检测细菌浓度,都必须有两次空白对照。第一次对用于检测的培养皿和培养基作对比试验。第二次是在检测时,对操作过程作对照试验,即盖子打开放好后又立即盖上。两次对照结果都必须为阴性。

每区域布点方式见附表一,所需最少培养皿数见附表二。以平均值为判定。

 

高效过滤器泄漏测试

高效过滤器泄漏测试

ATI 2H,5B/6D

逐个高效过滤器均扫描,根据区域面积大小选择系统发尘或是局部发尘。

高效过滤器安装完成,宜先测风速,风量,静压差后进行。

 

附表一:采样点设置一般规则:

面积(m2)

洁净度

100级及高于100级

1000级

10000级

100000级

<10
10
20
40
100
200
400
1000
2000

2~3
4
8
16
40
80
160
400
800

2
3
6
13
32
63
126
316
633

2
2
2
4
10
20
40
100
200

2
2
2
2
3
6
13
32
63

 

附表二:培养皿设置数量

洁净度级别

所需90培养皿数(以沉降0.5h计)

高于100级
100级
1000级
10000级
100000级

44
14
5
2
2